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Vortrag

Pushing the limits – Neue Möglichkeiten in der Gefügeforschung durch Xe-Plasma-FIB

Mittwoch (16.09.2020)
16:50 - 17:10 Uhr

Mit dem Aufkommen von Rasterelektronenmikroskopen in den 1960er Jahren wurden die Möglichkeiten der Materialmikroskopie schlagartig erweitert. Durch im Vergleich mit Lichtmikroskopie höher Auslösung und neue Kontrastarten, sowie durch chemische (EDX, WDX) und kristallographische (EBSD) Analytik wurden neue Zugänge zum Gefüge geschaffen. Mit der zunehmenden Verbreitung von Gallium-FIB/REM-Zweistrahlgeräten seit Beginn der 2000er Jahre wurde ein weiterer Sprung nach vorne gemacht. Wo bisher Präparation und Analyse der Probe zwei strikt getrennte Schritte waren, konnte nun mit Hilfe des fokussierten Ionenstrahls durch Querschnitte und Zielpräparationen auf einer Skala bis ca. <50 µm ein Blick unter die Probenoberfläche geworfen werden. Durch Automatisierung ließen sich Serienschnittaufnahmen anfertigen, mit denen Gefügebestandteile in 3D abgebildet werden können. Seit kurzem finden neuartige FIB/REM-Geräte mit Xenon-Plasma-Technologie Verbreitung in Forschung und Industrie. Mit ein bis zwei Größenordnungen höheren Strahlströmen ermöglichen diese den Zugang zu größeren Volumina, die mit der etablierten Ga-Technologie nicht praktikabel zu bearbeiten waren. Dieser Vortrag stellt anhand ausgewählter Beispiele die Grenzen und Möglichkeiten der Plasma-FIB/REM-Technik in Verbindung mit moderner EDX- und EBSD-Analytik vor.

Sprecher/Referent:
Dr.-Ing. Christoph Pauly
Universität des Saarlandes
Weitere Autoren/Referenten:
  • Michael Engstler
    Universität des Saarlandes
  • Prof. Dr. Frank Mücklich
    Universität des Saarlandes